傳感器的發(fā)展大體可分三個階段：第一階段是20世紀50年代伊始，結(jié)構(gòu)型傳感器出現(xiàn)，它利用結(jié)構(gòu)參量變化來感受和轉(zhuǎn)化信號。第二階段是20世紀70年代開始，固體型傳感器逐漸發(fā)展起來，這種傳感器由半導(dǎo)體、電介質(zhì)、磁性材料等固體元件構(gòu)成，是利用材料某些特性制成。如：利用材料的熱電效應(yīng)、霍爾效應(yīng)，分別制成熱電偶傳感器、霍爾傳感器等。第三階段是20世紀末開始，智能型傳感器出現(xiàn)并得到快速發(fā)展。智能型傳感器是微型計算機技術(shù)與檢測技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物，使傳感器具有人工智能的特性。

圖表 9 全球傳感器發(fā)展歷程