真空泵是制造業(yè)重要的通用設(shè)備，利用各種方法在封閉空間內(nèi)產(chǎn)生、提高和維持真空的裝置，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、工業(yè)真空等領(lǐng)域。分子泵適用于高真空和超高真空度范圍，按照軸承特性可以分為油潤滑、脂潤滑、磁懸浮三類。其中磁懸浮分子泵采用非接觸式磁懸浮軸承，具有轉(zhuǎn)速高、壽命長等特點。
分子泵于1912年誕生，德國人W.Gaede發(fā)明出世界首臺分子泵，但是初期應(yīng)用較為受限。20世紀(jì)50-70年代，分子泵研發(fā)發(fā)展較快，中國也于1964年開始研發(fā)分子泵。磁懸浮分子泵于20世紀(jì)80年代開始研發(fā)，并在21世紀(jì)開始被廣泛使用。磁懸浮分子泵相對于油潤滑分子泵和脂潤滑分子泵更加節(jié)能、高效、靈活，磁懸浮無摩擦，且能更長的連續(xù)工作，適用于半導(dǎo)體、光伏、平板顯示新能源等領(lǐng)域。
近年來，中國分子泵市場規(guī)模持續(xù)增長，主要是由于下游市場需求持續(xù)增長帶動的。一方面，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈向中國轉(zhuǎn)移，中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)規(guī)模持續(xù)增長，半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)Ψ肿颖玫男枨笤鲩L；此外5G基站基建配套設(shè)施逐步完善，新能源電池、光伏設(shè)備等領(lǐng)域的需求也在持續(xù)增長。預(yù)計今后幾年中國分子泵市場規(guī)模也將持續(xù)增長。其中磁懸浮分子泵優(yōu)勢明顯，是現(xiàn)代分子泵發(fā)展的主流趨勢，近年來行業(yè)發(fā)展快速，市場規(guī)模增速較快。
全球磁懸浮分子泵產(chǎn)品生產(chǎn)企業(yè)主要有德國普發(fā)Pfeiffer、英國愛德華Edwards、德國萊寶Leybold，國內(nèi)企業(yè)主要有中科科儀、天津飛旋。國外分子泵企業(yè)發(fā)展較早，且相關(guān)企業(yè)在中國市場布局也較早，國內(nèi)企業(yè)及科研院所對相關(guān)企業(yè)認(rèn)知度較高，在市場競爭中占據(jù)優(yōu)勢地位，占有較大的市場份額。德國普發(fā)Pfeiffer成立于1890年，1958年發(fā)明分子泵，產(chǎn)品涵蓋混合軸承分子泵及磁懸浮分子泵（如型號ATH1603）。中科科儀成立于1958年，業(yè)務(wù)領(lǐng)域覆蓋掃描電子顯微鏡、氦質(zhì)譜檢漏儀等科學(xué)儀器設(shè)備和分子泵、真空應(yīng)用設(shè)備等核心零部件及產(chǎn)業(yè)設(shè)備，磁懸浮分子泵產(chǎn)品包括CXF-200/1401、CXF-200/1402、CXF-250/2301、CXF-250/2302、CXF-320/3001、CXF-320/3002，可應(yīng)用于科學(xué)研究、加速器、光伏、鍍膜、新能源、新材料、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。天津飛旋是專業(yè)從事磁懸浮高速旋轉(zhuǎn)機(jī)械的設(shè)計、研發(fā)、生產(chǎn)及產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用的高新技術(shù)企業(yè)，其磁懸浮復(fù)合分子泵抽速范圍1000-2300L/S,最高轉(zhuǎn)速42000rpm,極限真空5*10-8Pa，應(yīng)用于科研、節(jié)能玻璃、太陽能光伏、液晶面板制造等行業(yè)。