電子級(jí)特種氣體氯氣是電子氣體大家族中十分重要的品種，電子級(jí)特種氣體氯氣主要用于顯示面板和集成電路制造領(lǐng)域的刻蝕工藝及光纖制造領(lǐng)域的脫水工藝。
集成電路尤其是超大規(guī)模集成電路技術(shù)的不斷進(jìn)步，對(duì)電子級(jí)特種氣體氯氣的質(zhì)量要求不斷提高，要求其含有更低的非金屬雜質(zhì)、金屬離子雜質(zhì)和微米級(jí)顆粒雜質(zhì)。
氯氣純化方法有光分解法、化學(xué)反應(yīng)法、精餾法、吸附法等，光分解法和化學(xué)反應(yīng)法是用于除氯氧化物和水的專(zhuān)用方法，精餾法和吸附法是通用型的純化方法，是重點(diǎn)研究的氯氣純化方法，更有進(jìn)步潛力。
目前歐美日等龍頭企業(yè)占據(jù)國(guó)內(nèi)電子級(jí)特種氣體氯氣絕大部分份額，韓國(guó)、中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)的企業(yè)憑借生產(chǎn)技術(shù)優(yōu)勢(shì)也具備一定競(jìng)爭(zhēng)力。2021年國(guó)外企業(yè)占據(jù)國(guó)內(nèi)電子級(jí)特種氣體氯氣市場(chǎng)約92%的份額。
近年來(lái)國(guó)內(nèi)企業(yè)通過(guò)不斷的經(jīng)驗(yàn)積累和技術(shù)進(jìn)步，已經(jīng)初步具備批量生產(chǎn)集成電路制造用電子級(jí)特種氣體氯氣的能力。但國(guó)內(nèi)電子級(jí)特種氣體氯氣商業(yè)化量產(chǎn)的企業(yè)少，僅有中巨芯科技股份和太和氣體兩家，總產(chǎn)能2,000噸。
2019年中國(guó)電子級(jí)特種氣體氯氣產(chǎn)量415.4噸，同比增長(zhǎng)29.8%；2020年中國(guó)電子級(jí)特種氣體氯氣產(chǎn)量586.9噸，同比增長(zhǎng)41.3%；2021年中國(guó)電子級(jí)特種氣體氯氣產(chǎn)量866.9噸，同比增長(zhǎng)47.7%；2022年中國(guó)電子級(jí)特種氣體氯氣產(chǎn)量1138.3噸，同比增長(zhǎng)31.3%。
2019年中國(guó)電子級(jí)特種氣體氯氣平均價(jià)格9.94萬(wàn)元/噸，2020年中國(guó)電子級(jí)特種氣體氯氣平均價(jià)格8.11萬(wàn)元/噸，2021年中國(guó)電子級(jí)特種氣體氯氣平均價(jià)格8.07萬(wàn)元/噸，2022年中國(guó)電子級(jí)特種氣體氯氣平均價(jià)格7.72萬(wàn)元/噸。
隨著微電子、光電子、微機(jī)械、新型半導(dǎo)體材料的發(fā)展，電子級(jí)特種氣體氯氣的市場(chǎng)需求不斷增大。我國(guó)電子級(jí)特種氣體氯氣長(zhǎng)期被日美歐企業(yè)所壟斷，國(guó)產(chǎn)化提升空間巨大。