半導(dǎo)體氟橡膠密封圈被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備，成膜、蝕刻、擴(kuò)散和清洗等設(shè)備。應(yīng)用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的密封件對于外觀、尺寸公差、異物等要求嚴(yán)格，產(chǎn)品的良率比較低。
半導(dǎo)體專用氟橡膠密封圈是半導(dǎo)體設(shè)備關(guān)鍵零部件之一。目前完全受制于美國、日本等國外企業(yè)的供應(yīng)，處于被動地位。
目前市場占有率高的全氟醚密封件品牌有美國的杜邦（Kalrez）、GT（Chemraz）、PARKER（Perfluoro），日本大金（DUPRA）和英國PPE（Perlast）等，其中杜邦（Kalrez）和GT（Chemraz）產(chǎn)品群豐富，性能優(yōu)越，占全球市場的60%～70%。
在中國，高純度半導(dǎo)體密封件最早的生產(chǎn)企業(yè)是2020年成立的上海芯密科技有限公司和2021年成立的上海芯之翼半導(dǎo)體材料有限公司；2022年成都道弘實(shí)業(yè)有限公司成立了子公司四川弘芯氟醚科技，也從事高純度半導(dǎo)體密封件的生產(chǎn)；2023年日本大金在廣東設(shè)立了大金清研先進(jìn)科技（惠州）有限公司也將投入高純度半導(dǎo)體密封件的生產(chǎn)。
2022年中國高純度半導(dǎo)體密封件產(chǎn)量12.57萬件，同比增長89.0%；2023年上半年中國高純度半導(dǎo)體密封件產(chǎn)量8.81萬件，同比增長40.2%。
近年來中國半導(dǎo)體制造業(yè)長期處于禁運(yùn)的陰影下，整個產(chǎn)業(yè)鏈都在尋求國產(chǎn)化替代，同時“十四五”規(guī)劃中，國家對半導(dǎo)體行業(yè)的大力扶持，使得整個半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)面臨著前所未有的變局，相信高純度半導(dǎo)體密封件也能趁著東風(fēng)，為中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自主可控貢獻(xiàn)一份力量。