半導(dǎo)體產(chǎn)品制造過程中所需的真空系統(tǒng)，需要具備抽除腐蝕性氣體、粉塵顆粒物、有毒氣體等功能，因此油封式機械泵無法滿足半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的需要。受半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的驅(qū)動，干式真空泵于上世紀(jì)80年代出現(xiàn)，受益于下游集成電路、光伏、LED等行業(yè)的持續(xù)發(fā)展進(jìn)步，干式真空泵的產(chǎn)品類型不斷增加，性能、控制集成度等指標(biāo)參數(shù)顯著改善。截至目前，發(fā)達(dá)國家的半導(dǎo)體相關(guān)產(chǎn)業(yè)已全部使用干式真空泵，我國近年來也呈現(xiàn)明顯的干式真空泵替代油泵的趨勢，國內(nèi)的高端半導(dǎo)體行業(yè)已基本使用干式真空泵。
   除半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)以外，制藥、化工、食品行業(yè)對真空泵的需求較大，以往使用油封式機械泵會產(chǎn)生油污染。近年來國家對環(huán)境保護(hù)高度重視，由于干式真空泵能夠顯著減少油污染，且使用干式真空泵可實現(xiàn)溶媒回收提高利用率，因此制藥、化工、食品等行業(yè)對干式真空泵產(chǎn)生了大量新增以及替代原有存量油封式機械泵的需求。
    2018年全球干式真空泵市場規(guī)模為57億美元，預(yù)計2019-2027年干式真空泵市場規(guī)模的年復(fù)合增長率為5.5%。全球干式真空泵市場規(guī)模增長的主要驅(qū)動因素來自于制藥業(yè)，制藥企業(yè)利用干式真空泵在藥品、中間體、原料的制造過程中保持適宜的反應(yīng)環(huán)境，以及用于不斷增長的新藥研發(fā)活動。亞太地區(qū)是干式真空泵市場增速最快的區(qū)域，主要驅(qū)動因素是持續(xù)增長的半導(dǎo)體和電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展。