深紫外全固態(tài)激光器，也稱為深紫外全固態(tài)激光光源，英文簡稱DUV-DPL，是利用半導(dǎo)體激光器（激光二極管）泵浦深紫外非線性光學(xué)晶體發(fā)射深紫外激光的裝置。我國在全球深紫外全固態(tài)激光器市場(chǎng)中處于領(lǐng)先地位。
　　全固態(tài)激光器（DPL），是核心器件均為固體，沒有液體、氣體的激光器，即泵浦源、激光介質(zhì)均為固態(tài)，其將半導(dǎo)體激光器與傳統(tǒng)固體激光器優(yōu)點(diǎn)集于一體，是一種新型、高功率、高效率、高可靠性、長壽命激光器，應(yīng)用領(lǐng)域正在不斷拓寬。全固態(tài)激光器可以輸出紅光、綠光、藍(lán)光、紫外光等可見光與不可見光。
　　深紫外光（DUV），是波長小于200nm的光，是不可見光，其研究意義在于，目前已發(fā)現(xiàn)的材料中，超過一半的材料難以對(duì)其進(jìn)行特征分析，但這些材料可以吸收深紫外光，基于此可研究材料特性。深紫外全固態(tài)激光器利用非線性光學(xué)晶體進(jìn)行波長轉(zhuǎn)換，可以發(fā)射深紫外光。
　　深紫外全固態(tài)激光器具有線寬窄、光子能量高、光子流密度大、光束質(zhì)量高、方向性好、可靠性強(qiáng)、體積小等特征，可以輸出低重頻至高重頻、納秒、皮秒、飛秒激光，在半導(dǎo)體（光刻機(jī)）、光存儲(chǔ)、光通信、生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、儀器儀表、工業(yè)精密加工、環(huán)境監(jiān)測(cè)等多個(gè)領(lǐng)域均擁有巨大發(fā)展?jié)摿Α?BR>　　進(jìn)入21世紀(jì)，我國全固態(tài)激光器知識(shí)產(chǎn)權(quán)體系建設(shè)完整，產(chǎn)業(yè)鏈布局完善，在全球市場(chǎng)中的競爭力持續(xù)增強(qiáng)。深紫外全固態(tài)激光器以半導(dǎo)體激光器（激光二極管）為泵浦源，以非線性光學(xué)晶體為激光介質(zhì)，由于研制難度大，一直以來全球缺乏深紫外非線性光學(xué)晶體，制約了深紫外全固態(tài)激光器技術(shù)發(fā)展。
　　20世紀(jì)90年代初，我國率先發(fā)現(xiàn)一種深紫外非線性光學(xué)晶體，即KBBF晶體，2015年，我國又研制出LSBO晶體。我國非線性光學(xué)晶體研制能力在全球市場(chǎng)中處于領(lǐng)先地位。在此基礎(chǔ)上，我國研制出深紫外全固態(tài)激光器。深紫外非線性光學(xué)晶體加工難度大、變頻技術(shù)難度大，我國率先實(shí)現(xiàn)實(shí)用化深紫外全固態(tài)激光器制造。
　　以深紫外全固態(tài)激光器為光源，我國已經(jīng)制造出拉曼光譜儀、電子能譜儀、電子顯微鏡、光化學(xué)反應(yīng)儀等多種精密儀器，這些儀器在推動(dòng)新材料、半導(dǎo)體、催化劑等研究，以及電子信息、通信、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)等技術(shù)進(jìn)步方面發(fā)揮重要作用。中國科學(xué)院是我國代表性深紫外全固態(tài)激光器及相關(guān)裝備研究機(jī)構(gòu)。