超光滑反射元件，是指表面粗糙度小于1nm的光學(xué)元件，由于能夠準(zhǔn)確反射和傳輸光線，其在高精度光學(xué)系統(tǒng)中應(yīng)用極為廣泛。
　　反射元件至少有一個反射面，起到折轉(zhuǎn)光路、改變成像正倒關(guān)系等作用。反射原件主要包括平面反射元件、球面反射元件與非球面反射元件三大類。平面反射元件的工作面是平面，又包括單面、雙面兩種；球面反射元件的工作面為球面，又包括凸球面、凹球面兩種；非球面反射元件的工作面不是平面與球面，常見的有拋物面、雙曲面等。對比來看，非球面反射元件應(yīng)用更為廣泛。
　　在常規(guī)光學(xué)系統(tǒng)中，反射元件的表面粗糙度小于0.012μm，但在高精度光學(xué)系統(tǒng)中，反射元件表面粗糙度要求極高，需要小于1nm，即超光滑反射元件。超光滑反射元件具有表面精度高、表面波紋度低、無表面瑕疵、無亞表面損傷、晶格結(jié)構(gòu)完整等特征。
　　非球面超光滑反射元件應(yīng)用在光學(xué)儀器中，可以提高系統(tǒng)光學(xué)特性，降低儀器體積與重量，是實現(xiàn)X射線、極紫外、強(qiáng)激光等不可或缺的光學(xué)元件，被廣泛應(yīng)用在望遠(yuǎn)鏡、激光器、顯微鏡、光譜儀、半導(dǎo)體光刻等儀器設(shè)備制造領(lǐng)域，市場前景極為廣闊。
　　加工超光滑反射元件的關(guān)鍵技術(shù)是，實現(xiàn)表面材料原子級別拋光。常用的超光滑反射元件加工技術(shù)主要有浴法拋光、聚四氟乙烯拋光等接觸式拋光，以及浮法拋光、離子束拋光、等離子體輔助拋光、彈性發(fā)射加工、磁流變拋光等非接觸式拋光。其中，彈性發(fā)射加工、磁流變拋光在加工元件類型以及元件表面精度與亞表面損傷等方面均有較好競爭優(yōu)勢。
　　超光滑反射元件的材料可以采用玻璃、金屬等。金屬本身具有較高反射率，經(jīng)拋光制成反射元件后，高反射率的優(yōu)點突出，并且金屬易于加工成型。在精密光學(xué)儀器中，需要采用復(fù)雜表面的超光滑反射元件，來提高成像性能以及實現(xiàn)更多功能。因此在部分應(yīng)用領(lǐng)域中，超光滑金屬反射元件有望替代玻璃反射元件。
   我國科技部發(fā)布的2023年度國家重點研發(fā)計劃“基礎(chǔ)科研條件與重大科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)”重點專項中，超光滑特種反射元件被列入，提出開發(fā)超光滑特種合金反射鏡，實現(xiàn)在高端晶圓缺陷檢測設(shè)備光源系統(tǒng)、照明系統(tǒng)中的小批量應(yīng)用。在國家政策的推動下，我國超光滑反射元件行業(yè)發(fā)展前景廣闊。