納米壓痕儀，是一種基于力與壓入深度關(guān)系，對材料硬度、楊氏模量等參數(shù)進行測試的儀器，可以從微納米尺度上實現(xiàn)材料結(jié)構(gòu)、力學性能的分析研究。
傳統(tǒng)壓痕測試方法存在壓痕尺寸要求大、測量參數(shù)種類少、適用材料范圍窄、受人為因素影響大等缺點。納米壓痕儀無需觀察壓痕面積，可在微納米尺度上進行測量，測量參數(shù)包括材料的力學性能、局部特征等，是一種新型測量方法，成為分析材料微納力學性能的重要儀器之一。
納米壓痕儀主要由成像系統(tǒng)、傳感器、控制模塊、壓頭、隔離罩、樣品臺等構(gòu)成，壓頭是重要組成部分，制造材料通常采用金剛石，利用金剛石壓頭對被測材料造成壓痕，根據(jù)力與壓入深度曲線計算得到材料的硬度、楊氏模量等參數(shù)。
納米壓痕儀具有樣品制備簡單、直接測量、無損檢測、空間分辨率高、測量精度高、適用材料范圍廣、操作方便等優(yōu)點，測量參數(shù)除了硬度、楊氏模量外，還包括塑性、斷裂、黏彈等參數(shù)，可以測量金屬、合金、陶瓷、玻璃、薄膜、礦石、磁性材料、半導體材料、有機高分子聚合物、光學材料、鍍層/涂層、生物組織等。
納米壓痕儀可以實現(xiàn)材料的接觸剛度、斷裂韌性、附著性能、摩擦磨損性能、蠕變性能、塑性等研究分析，可以測試硬質(zhì)材料、軟質(zhì)材料，能夠廣泛應(yīng)用在材料科學、光學、生物學、醫(yī)學、藥學、冶金、化工、油漆涂料、半導體、電子、礦產(chǎn)等領(lǐng)域。
2023年，全球納米壓痕儀市場規(guī)模約為16.3億元；預計2023-2029年，全球納米壓痕儀市場年復合增長率為6.7%，發(fā)展到2029年市場規(guī)模將達到24.0億元左右。在全球市場中，歐洲地區(qū)納米壓痕儀需求占比最高，超過50%，接下來是北美地區(qū)，超過30%，目前亞洲地區(qū)需求占比較小，但增長速度較快。
在全球范圍內(nèi)，納米壓痕儀研發(fā)生產(chǎn)商主要有美國布魯克（Bruker）、美國Micro Materials、美國NANOVEA、美國KLA、德國ZwickRoell、德國Helmut Fischer、奧地利安東帕（Anton Paar）、匈牙利Semilab、荷蘭Optics11 Life、瑞士FemtoTools、日本Elionix等。全球納米壓痕儀廠商主要集中在歐美國家中，其中，奧地利安東帕（Anton Paar）市場份額占比最大，達到27%，排名前五企業(yè)合計份額占比達到60%以上，市場集中度較高。