電場式時柵又稱納米時柵，是第三代時柵，也是目前全球最精密的測量工具。納米時柵是一種通過利用正交變化的電場構(gòu)建勻速運動參考系，建立空間位移和時間基準(zhǔn)之間的關(guān)系，利用時間上的時刻比較來實現(xiàn)位移測量的位移傳感器。
時柵是一種新型高精度位移傳感器，相比于主流位移傳感器絕對式光柵，時柵具有精度高、抗干擾能力強等優(yōu)勢。時柵是我國自主研發(fā)的首創(chuàng)性成果，發(fā)展時柵產(chǎn)業(yè)，有望擺脫我國精密位移測量儀器市場依賴進口局面，在國產(chǎn)替代、制造業(yè)升級背景下，時柵應(yīng)用前景廣闊。
截止至目前，時柵概念已提出近三十年，產(chǎn)品也經(jīng)歷了從第一代機械式時柵、第二代磁場式時柵到第三代電場式時柵（納米時柵）的發(fā)展。作為第三代時柵，納米時柵具有超高精度、超高分辨力的特點，其測量精度最高可達±0.06角秒，達到了現(xiàn)有檢測儀器水平的極限。
目前我國納米時柵技術(shù)已走出實驗室，實現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。我國納米時柵相關(guān)企業(yè)主要包括通用技術(shù)集團國測時柵科技有限公司（國測時柵）、重慶中電天時精密裝備技術(shù)有限公司、重慶時柵科技有限公司等。未來隨著納米時柵技術(shù)與數(shù)控技術(shù)、新材料、新一代信息技術(shù)等深入融合，納米時柵將不斷向智能化、更高精度、更高分辨力方向發(fā)展。
納米時柵分為納米位移時柵（納米直線時柵）、納米角位移時柵（納米圓時柵）。納米直線時柵最高精度可達±3μm，廣泛用于量具量儀、超精密機床、半導(dǎo)體測量設(shè)備等領(lǐng)域，納米圓時柵最高測量精度可達±1角秒，可用于伺服電機、機床回轉(zhuǎn)工作臺、精密測角儀、自動化設(shè)備、工業(yè)機器人等領(lǐng)域。
我國在納米時柵領(lǐng)域取得的專利有《一種基于單排多層結(jié)構(gòu)的電場式時柵直線位移傳感器》、《基于交變電場的直接全反射型絕對式時柵直線位移傳感器》、《一種基于交變電場的差極型絕對式時柵角位移傳感器》等。
高性能位移傳感器是獲得高質(zhì)量零件的關(guān)鍵，在制造業(yè)升級背景下，市場對高端精密位移測量儀器的需求將進一步釋放。納米時柵填補了我國在高端精密位移測量領(lǐng)域的空白，對我國高端裝備制造業(yè)發(fā)展具有重要意義。我國納米時柵已進入規(guī)模產(chǎn)業(yè)化運用階段，但目前其在國產(chǎn)機床的使用率仍極低，未來市場存在廣闊擴展空間。