晶圓甩干機(jī)（SRD）指用于清洗和干燥晶圓的設(shè)備。晶圓甩干機(jī)具有結(jié)構(gòu)多樣、潔凈度高、可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制、工作效率高、對(duì)晶圓損傷小等優(yōu)勢(shì)，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域擁有廣闊應(yīng)用前景。按照工作原理不同，晶圓甩干機(jī)可分為振動(dòng)式晶圓甩干機(jī)、氣流式晶圓甩干機(jī)以及離心式晶圓甩干機(jī)三種類型。
晶圓甩干機(jī)通常由甩干筒、轉(zhuǎn)軸、旋轉(zhuǎn)架、軸套等組件構(gòu)成。在行業(yè)發(fā)展初期，受技術(shù)壁壘高、生產(chǎn)成本高等因素限制，我國(guó)晶圓甩干機(jī)組件高度依賴進(jìn)口。近年來(lái)，伴隨本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國(guó)晶圓甩干機(jī)組件市場(chǎng)國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程不斷加快，這將為晶圓甩干機(jī)行業(yè)發(fā)展奠定良好基礎(chǔ)。
晶圓甩干機(jī)在晶圓制造領(lǐng)域需求旺盛。近年來(lái)，伴隨全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)向我國(guó)大陸轉(zhuǎn)移，我國(guó)晶圓產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)張。2023年我國(guó)晶圓月均產(chǎn)能達(dá)到近660萬(wàn)片，同比增長(zhǎng)近15%。晶圓甩干機(jī)能有效去除晶圓表面水分，提升晶圓生產(chǎn)效率及質(zhì)量。未來(lái)隨著應(yīng)用需求持續(xù)增長(zhǎng)，我國(guó)晶圓甩干機(jī)行業(yè)發(fā)展速度將有所加快。
近年來(lái)，國(guó)家對(duì)于晶圓制造行業(yè)發(fā)展高度重視，已出臺(tái)多項(xiàng)鼓勵(lì)政策，包括《關(guān)于推動(dòng)能源電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的指導(dǎo)意見(jiàn)》、《鼓勵(lì)外商投資產(chǎn)業(yè)目錄（2022年版）》、《中華人民共和國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)和社會(huì)發(fā)展第十四個(gè)五年規(guī)劃和2035年遠(yuǎn)景目標(biāo)綱要》等。未來(lái)伴隨國(guó)家政策支持，晶圓甩干機(jī)作為晶圓制造重要設(shè)備，行業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)將持續(xù)向好。
我國(guó)晶圓甩干機(jī)市場(chǎng)參與者眾多，主要包括泉芯半導(dǎo)體科技（無(wú)錫）有限公司、谷微半導(dǎo)體科技（江蘇）有限公司、河北中科微電子有限公司、昆山康達(dá)斯機(jī)械設(shè)備有限公司、常州科沛達(dá)超聲工程設(shè)備有限公司、無(wú)錫奧曼特科技有限公司。但目前，我國(guó)晶圓甩干機(jī)市場(chǎng)以小規(guī)模企業(yè)為主，行業(yè)集中度較低。預(yù)計(jì)未來(lái)一段時(shí)間，具備高性能晶圓甩干機(jī)自主研發(fā)實(shí)力的企業(yè)將成為行業(yè)龍頭。
隨著我國(guó)晶圓產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)張，晶圓甩干機(jī)應(yīng)用需求不斷增長(zhǎng)，行業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)持續(xù)向好。目前，受市場(chǎng)前景吸引，我國(guó)已有多家企業(yè)布局晶圓甩干機(jī)行業(yè)研發(fā)及生產(chǎn)賽道。未來(lái)伴隨技術(shù)進(jìn)步，我國(guó)晶圓甩干機(jī)行業(yè)集中度有望提升。