深紫外級(jí)氟化鈣晶體，是指對(duì)深紫外波長(zhǎng)的光具有優(yōu)良透過率的高純度氟化鈣晶體。
　 氟化鈣（CaF2），無(wú)機(jī)化合物，不溶于水、丙酮，可溶于多種酸。氟化鈣晶體為無(wú)色立方晶體狀，屬于等軸晶系，機(jī)械性能穩(wěn)定、抗輻照能力強(qiáng)，是一種光學(xué)晶體材料，可透過紫外到紅外波段的光，是優(yōu)良光學(xué)窗口材料。
　　紫外光穿透能力差，深紫外光屬于短波光，較多光學(xué)材料對(duì)其透過率差，可選擇的、能夠制造光學(xué)窗口的材料種類少，目前常見的主要是石英玻璃、氟化鈣晶體。但在157nm以下深紫外波段范圍，深紫外石英玻璃已無(wú)法滿足需求，通常采用深紫外級(jí)氟化鈣晶體。
　　深紫外石英玻璃、深紫外級(jí)氟化鈣晶體均可應(yīng)用在193nm深紫外波段。對(duì)比來(lái)看，深紫外石英玻璃透過率優(yōu)，但再向更低波段延伸時(shí)，其透過率迅速下降；深紫外級(jí)氟化鈣晶體在150nm深紫外波段仍擁有良好透過率，且折射率均勻性高，但雙折射問題會(huì)增大。
　　深紫外級(jí)氟化鈣晶體可以應(yīng)用在光刻機(jī)制造領(lǐng)域。光刻是半導(dǎo)體器件制造的重要環(huán)節(jié)，需要采用光刻機(jī)。隨著科技進(jìn)步，光刻機(jī)光源向短波輻射方向發(fā)展，深紫外光刻成市場(chǎng)主流技術(shù)。深紫外級(jí)氟化鈣晶體具有高激光耐久性，成為深紫外光刻機(jī)準(zhǔn)分子激光光源首選材料。隨著深紫外光刻技術(shù)不斷發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)深紫外級(jí)氟化鈣晶體的透過率要求還在不斷提高。
　　深紫外級(jí)氟化鈣晶體生長(zhǎng)工藝的優(yōu)劣會(huì)直接影響內(nèi)部缺陷的多少，大尺寸、高質(zhì)量深紫外級(jí)氟化鈣晶體生長(zhǎng)難度大，主要工藝有溫度梯度法、平板生長(zhǎng)法、坩堝下降法等。中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽所采用自主研制的熱交換坩堝下降法晶體生長(zhǎng)技術(shù)，可制備得到大直徑、深紫外透過率高的深紫外級(jí)氟化鈣晶體。
　　深紫外級(jí)氟化鈣晶體除了可以應(yīng)用在光刻機(jī)領(lǐng)域外，也可以應(yīng)用于光學(xué)儀器、激光器、天文儀器等制造方面，并且在軍工國(guó)防領(lǐng)域還可以應(yīng)用在激光武器、激光吊艙等方面。總的來(lái)看，深紫外級(jí)氟化鈣晶體市場(chǎng)發(fā)展空間大。現(xiàn)階段，我國(guó)光刻機(jī)用深紫外級(jí)氟化鈣晶體需求依賴進(jìn)口，在國(guó)際政治形勢(shì)多變背景下，為避免被卡脖子，亟需實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。
　　2022年8月，中國(guó)建筑材料聯(lián)合會(huì)發(fā)布第二批全國(guó)建材行業(yè)重大科技攻關(guān)“揭榜掛帥”項(xiàng)目榜單，深紫外級(jí)氟化鈣晶體材料產(chǎn)業(yè)化制備關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)與應(yīng)用被列入其中，提出圍繞光刻機(jī)的重大需求，研制193nmDUV光刻機(jī)照明系統(tǒng)、投影物鏡系統(tǒng)等關(guān)鍵材料-高質(zhì)量深紫外級(jí)氟化鈣（CaF2）單晶。這有望推動(dòng)我國(guó)深紫外級(jí)氟化鈣晶體自給能力增強(qiáng)。