無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備，又稱無圖案晶圓缺陷檢測設(shè)備，指在晶圓尚未形成電路圖案階段進(jìn)行缺陷檢測的設(shè)備。無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備屬于前道半導(dǎo)體檢測設(shè)備，能夠檢測晶圓表面粗糙度異常、顆粒污染、凹坑、破裂以及劃傷等缺陷，可有效提升晶圓良品率。
   無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備通常由光路系統(tǒng)、激光光源、硅片抓取機(jī)械手、CCD相機(jī)、控制電腦、高精度伺服系統(tǒng)等組件構(gòu)成。目前，受技術(shù)壁壘高、生產(chǎn)成本高等因素限制，我國具備無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備組件自主研發(fā)及生產(chǎn)實(shí)力的企業(yè)數(shù)量極少，這將為無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備行業(yè)發(fā)展帶來一定挑戰(zhàn)。
  受益于全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐漸向我國大陸轉(zhuǎn)移，我國已成為晶圓主產(chǎn)國之一。2023年我國晶圓產(chǎn)能同比增長超過10%，位居全球領(lǐng)先。無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備能夠有效提升晶圓良品率，未來伴隨應(yīng)用需求日益旺盛，其行業(yè)發(fā)展態(tài)勢將持續(xù)向好。
   全球無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備市場主要集中于歐美以及日本等國，代表企業(yè)包括日本株式會社日立制作所（Hitachi）、美國應(yīng)用材料公司（AMAT）、美國耐諾公司（Nanometrics Incorporated）、美國科磊公司（KLA）等。科磊為全球半導(dǎo)體檢測設(shè)備龍頭企業(yè)，市場占比達(dá)到近五成，其開發(fā)的無圖案晶圓缺陷檢測系統(tǒng)Surfscan SP2采用紫外線激光技術(shù)、先進(jìn)算法以及暗場光學(xué)技術(shù)制成，具有檢測速度快、檢測精度高等優(yōu)勢。
   在本土方面，我國無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備市場參與者較少，需求高度依賴進(jìn)口。中科飛測專注于半導(dǎo)體量測設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)及銷售，為我國較早布局無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備行業(yè)研發(fā)及生產(chǎn)賽道的企業(yè)之一，產(chǎn)品主要應(yīng)用于先進(jìn)封裝領(lǐng)域，2023年公司生產(chǎn)交付量達(dá)到近300臺。據(jù)中科飛測企業(yè)年報(bào)顯示，2023年公司檢測設(shè)備實(shí)現(xiàn)營收6.5億元，占據(jù)其業(yè)務(wù)總營收的73.5%。
   我國已成為晶圓生產(chǎn)大國，應(yīng)用需求增長帶動無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備市場空間持續(xù)擴(kuò)展。目前，我國無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備行業(yè)尚處于起步階段，具備其規(guī)模化生產(chǎn)能力的企業(yè)數(shù)量較少。未來伴隨國家政策支持以及技術(shù)進(jìn)步，我國無圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備產(chǎn)能有望擴(kuò)張。