精密陶瓷部件主要是指應(yīng)用在半導(dǎo)體設(shè)備中的高精密復(fù)雜結(jié)構(gòu)陶瓷部件。精密陶瓷部件是半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵部件，其研發(fā)生產(chǎn)直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。精密陶瓷部件需要具備高度輕量化、高尺寸精度特點(diǎn)，并且較多產(chǎn)品存在中空閉孔等復(fù)雜結(jié)構(gòu)，因此其成型、燒結(jié)、制造、加工等環(huán)節(jié)技術(shù)壁壘高，生產(chǎn)難度大。
　　半導(dǎo)體設(shè)備位于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游，產(chǎn)品種類(lèi)眾多，主要有光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、離子注入設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、清洗設(shè)備、拋光設(shè)備等。目前，中國(guó)大陸地區(qū)是全球最大的半導(dǎo)體市場(chǎng)，對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備需求旺盛。根據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(huì)（SEMI）公布的數(shù)據(jù)，2021年，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額達(dá)到1026億美元，同比增長(zhǎng)44%，其中，中國(guó)大陸地區(qū)半導(dǎo)體設(shè)備銷(xiāo)售額達(dá)到296億美元，同比增長(zhǎng)58%，在全球中份額占比最大。
　　陶瓷部件具有結(jié)構(gòu)穩(wěn)定、剛度高、導(dǎo)熱性好、熱穩(wěn)定性好、膨脹系數(shù)低等優(yōu)點(diǎn)，為實(shí)現(xiàn)高制程精度，半導(dǎo)體設(shè)備需要采用精密陶瓷部件。以光刻機(jī)為例，其需要的精密陶瓷部件主要包括磁鋼骨架、工件臺(tái)、水冷板、導(dǎo)軌、反射鏡、靜電吸盤(pán)、真空夾盤(pán)、手臂等，這些制品在尺寸、結(jié)構(gòu)、厚度、輕量化、精度、光學(xué)性能等方面均具有高要求。但陶瓷硬度大、脆性大、熔點(diǎn)高，因此精密陶瓷部件制備難度高。
　　在全球范圍內(nèi)，僅有少數(shù)企業(yè)可以實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備用精密陶瓷部件規(guī)�；�生產(chǎn)，代表性企業(yè)主要是日本Kyocera（京瓷）、美國(guó)CoorsTek，這兩大企業(yè)在全球半導(dǎo)體設(shè)備用精密陶瓷部件市場(chǎng)中合計(jì)占有率達(dá)到72%。全球精密陶瓷部件市場(chǎng)集中度高，其他少數(shù)能夠生產(chǎn)精密陶瓷部件的企業(yè)份額占比較小。
　　我國(guó)精密陶瓷部件生產(chǎn)實(shí)力弱，需要主要依靠進(jìn)口。作為半導(dǎo)體生產(chǎn)與消費(fèi)大國(guó)，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大，制造技術(shù)不斷進(jìn)步，目前刻蝕機(jī)、清洗機(jī)、PVD、CVD等部分國(guó)產(chǎn)設(shè)備正在逐步進(jìn)入半導(dǎo)體制造供應(yīng)鏈，并在加大力度突破光刻機(jī)等高技術(shù)含量設(shè)備技術(shù)瓶頸。半導(dǎo)體設(shè)備制造能力直接影響電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展，而精密陶瓷部件是半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵部件，必須實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代。
　　近年來(lái)，我國(guó)政府陸續(xù)出臺(tái)了多項(xiàng)政策鼓勵(lì)支持半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，在國(guó)際政治、經(jīng)濟(jì)形勢(shì)多變背景下，為避免芯片等核心元器件供應(yīng)被“卡脖子”，我國(guó)自主研發(fā)力度不斷加大。在此背景下，半導(dǎo)體設(shè)備以及精密陶瓷部件自主生產(chǎn)的重要性日益突出。2022年兩會(huì)期間，臺(tái)盟中央提交了“關(guān)于進(jìn)一步加快半導(dǎo)體精密陶瓷部件產(chǎn)業(yè)發(fā)展的提案”，未來(lái)精密陶瓷部件行業(yè)受關(guān)注度將進(jìn)一步提升，能夠突破技術(shù)瓶頸、實(shí)現(xiàn)精密陶瓷部件自主生產(chǎn)的企業(yè)發(fā)展空間巨大。