低溫泵是一種利用20K以下低溫表面凝聚吸附氣體的真空泵，一般是以低溫液體（液氮或液氦）或低溫制冷機為冷源。低溫泵適合用于需要高真空度的領域，尤其適合應用于要求潔凈無油或快速抽氣的場合，例如半導體、顯示面板（LCD/LED/OLED）制造工藝領域、真空鍍膜領域、科研、科學工程領域。
 近幾年，國家高度重視并大力支持半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，先后出臺了一系列促進行業(yè)發(fā)展的政策，《新時期促進集成電路產(chǎn)業(yè)和軟件產(chǎn)業(yè)高質量發(fā)展的若干政策》、《“十四五”國家信息化規(guī)劃》等產(chǎn)業(yè)政策，明確將半導體作為未來科技與產(chǎn)業(yè)發(fā)展的方向，鼓勵投資者進入半導體產(chǎn)業(yè)，為低溫泵產(chǎn)業(yè)的技術創(chuàng)新、產(chǎn)品結構優(yōu)化升級提供了良好的政策環(huán)境。
得益于國家政策的扶持與終端消費市場的發(fā)展，未來中國半導體、顯示面板等高新技術產(chǎn)業(yè)的規(guī)模將持續(xù)擴張。2029年中國低溫泵行業(yè)市場規(guī)模將達到20億元。
在國家政策的推動下，我國低溫泵國產(chǎn)化替代不斷加速。一方面是由于國家出臺了一系列政策，鼓勵和支持國產(chǎn)設備的研發(fā)和應用，為低溫泵國產(chǎn)化替代提供了良好的政策環(huán)境；另一方面，近年來本土企業(yè)加大技術投入，低溫泵生產(chǎn)工藝不斷改進，與進口產(chǎn)品的差距逐漸縮小。此外，受美國芯片法案等因素影響，國內(nèi)半導體企業(yè)開始扶持國產(chǎn)品牌，逐漸采用國產(chǎn)低溫泵。但由于國內(nèi)低溫泵技術的研發(fā)起步較晚，技術積累相對較少。雖然近年來國內(nèi)企業(yè)在低溫泵領域取得了一定進展，但與國際先進水平相比仍存在一定差距。國內(nèi)企業(yè)在技術研發(fā)、產(chǎn)品設計、制造工藝等方面還需進一步加強，以提升產(chǎn)品的性能和質量。
目前國內(nèi)市場上低溫泵產(chǎn)品主要由日本愛發(fā)科、住友、Edwards等外資品牌主導，這些品牌憑借其先進的技術、穩(wěn)定的質量在市場中占據(jù)較高的市場份額。在半導體設備方面，住友和Edwards在技術方面具有較強的競爭力；在顯示面板及其他領域，低溫泵的技術要求相對較低，市場主要被寧波愛發(fā)科低溫泵有限公司等企業(yè)占據(jù)。近年來，本土企業(yè)中的安徽萬瑞冷電科技有限公司、浙江博開機電科技有限公司發(fā)展較為迅速，市場競爭力不斷提升，逐漸對進口產(chǎn)品形成替代。