半導(dǎo)體溫控設(shè)備，又稱半導(dǎo)體專用溫控設(shè)備，指在半導(dǎo)體制造過(guò)程中用于控制溫度的關(guān)鍵設(shè)備。半導(dǎo)體溫控設(shè)備具有工作溫度范圍寬、響應(yīng)速度快、精度高、易于集成、節(jié)能環(huán)保等優(yōu)勢(shì)，在薄膜沉積、蝕刻、光刻、退火、晶體生長(zhǎng)等半導(dǎo)體工藝中應(yīng)用廣泛。
  半導(dǎo)體溫控設(shè)備主要包括紅外測(cè)溫儀、熱電偶、溫度控制器、加熱臺(tái)、冷卻臺(tái)、熱交換器、冷卻系統(tǒng)、溫控腔室等。溫度控制器能夠調(diào)節(jié)和監(jiān)控溫度，具有體積小、使用壽命長(zhǎng)、噪音小、精度高等優(yōu)勢(shì)，為半導(dǎo)體溫控設(shè)備代表產(chǎn)品，在半導(dǎo)體物理氣相沉積（PVD）以及干法刻蝕工藝中應(yīng)用較多。未來(lái)伴隨細(xì)分產(chǎn)品應(yīng)用需求增長(zhǎng)，我國(guó)半導(dǎo)體溫控設(shè)備行業(yè)發(fā)展速度將進(jìn)一步加快。
   半導(dǎo)體溫控設(shè)備屬于半導(dǎo)體專用設(shè)備，其溫度控制范圍為-70℃~120℃，在集成電路制備環(huán)節(jié)需求旺盛。受益于技術(shù)進(jìn)步以及應(yīng)用需求增長(zhǎng)，我國(guó)集成電路產(chǎn)量不斷提升。據(jù)國(guó)家工信部統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)顯示，2023年我國(guó)集成電路產(chǎn)量達(dá)到3514億塊，同比增長(zhǎng)6.9%。半導(dǎo)體溫控設(shè)備能夠?yàn)榧�成電路制備提供穩(wěn)定溫度環(huán)境，提升其良品率。
   隨著下游行業(yè)發(fā)展速度加快，我國(guó)半導(dǎo)體溫控設(shè)備市場(chǎng)空間持續(xù)擴(kuò)展。2023年我國(guó)半導(dǎo)體溫控設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到近15億元，同比增長(zhǎng)超過(guò)10%。預(yù)計(jì)未來(lái)一段時(shí)間，伴隨半導(dǎo)體制造技術(shù)不斷進(jìn)步，我國(guó)半導(dǎo)體溫控設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模還將進(jìn)一步增長(zhǎng)，到2028年將突破25億元。
   我國(guó)半導(dǎo)體溫控設(shè)備行業(yè)集中度較高，主要生產(chǎn)商包括同飛股份、京儀裝備等。京儀裝備具備單通道、雙通道以及三通道半導(dǎo)體溫控設(shè)備批量生產(chǎn)能力，已掌握節(jié)能技術(shù)、制冷控制技術(shù)以及精密控溫技術(shù)等半導(dǎo)體溫控設(shè)備核心技術(shù)，占據(jù)我國(guó)市場(chǎng)近三成份額，長(zhǎng)鑫科技、大連英特爾、華虹集團(tuán)、長(zhǎng)江存儲(chǔ)等知名半導(dǎo)體制造商為其主要客戶。
   受益于我國(guó)半導(dǎo)體制造技術(shù)不斷進(jìn)步，半導(dǎo)體溫控設(shè)備行業(yè)發(fā)展速度有所加快。在細(xì)分產(chǎn)品方面，溫度控制器綜合性能優(yōu)良，為半導(dǎo)體溫控設(shè)備代表產(chǎn)品。在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)方面，我國(guó)半導(dǎo)體溫控設(shè)備行業(yè)集中度較高，京儀裝備作為頭部?jī)?yōu)勢(shì)企業(yè)，占據(jù)市場(chǎng)主要份額。