雙（二乙氨基）硅烷，又稱雙（二乙基氨基）硅烷，簡稱BDEAS，是一種先進硅基前驅體材料。前驅體材料在集成電路的外延、光刻、化學氣相沉積、原子層沉積等工藝中應用廣泛，其中硅基前驅體材料是重要且用量較大的前驅體材料，也是先進集成電路領域研究熱點之一。
　　近年來，受益于全球半導體產業(yè)東移，我國集成電路產能持續(xù)擴張，根據國家統(tǒng)計局數據顯示，2024年1-7月，我國集成電路產量同比增長29.3%，達2445億塊。集成電路生產規(guī)模擴大，為半導體前驅體材料市場發(fā)展帶來了增長動力，預計2024年我國半導體前驅體材料市場規(guī)模將達7.9億美元。雙（二乙氨基）硅烷作為目前備受關注的半導體前驅體材料之一，市場發(fā)展空間廣闊。
　　雙（二乙氨基）硅烷是以二氯硅烷和二乙胺為原料，三乙胺和十二烷為溶劑，在氬氣氣氛保護下制備得到。雙（二乙氨基）硅烷可分為工業(yè)級BDEAS、電子級BDEAS，工業(yè)級BDEAS經精餾、過濾提純可制得電子級BDEAS。
　　電子級BDEAS反應活性較高，能有效提高薄膜沉積效率，主要用于自對準雙重圖形（SADP）技術中，及低溫制備SiO2膜、硅基高介電薄膜等含硅半導體薄膜，進一步應用在太陽能電池、二極管等領域。
　　我國雙（二乙氨基）硅烷市場布局企業(yè)有銅陵安德科銘電子材料科技有限公司、大連科利德光電子材料有限公司、南大光電半導體材料有限公司等。我國雙（二乙氨基）硅烷制備技術研發(fā)起步較晚，目前生產規(guī)模較小。其中大連科利德光電子材料有限公司是T/DLSHXH 008-2022《電子特氣 雙（二乙基氨基）硅烷》團體標準的主起草單位，擁有“一種高純雙二乙胺基硅烷制備裝置及方法”等多項相關技術專利。
　　作為先進硅基前驅體材料，雙（二乙氨基）硅烷已入選了江蘇省工信廳發(fā)布的《江蘇省重點新材料首批次應用示范指導目錄（2024年版）》，性能要求：純度99.9%，產率90%，金屬雜質0.65ppb，氯含量0.8ppm。雙（二乙氨基）硅烷是目前業(yè)界較流行的硅基前驅體材料，主要用于含硅半導體薄膜的生產，隨著我國半導體行業(yè)景氣度提升，雙（二乙氨基）硅烷市場需求空間廣闊。