靜電卡盤（ESC），又稱靜電吸盤，指利用靜電吸附力在半導(dǎo)體制造過程中固定和支撐晶圓的裝置。靜電卡盤具備可實(shí)現(xiàn)溫度控制、環(huán)境適應(yīng)性強(qiáng)、邊緣效應(yīng)小、穩(wěn)定性高、可減少顆粒污染、工作精度高等優(yōu)勢(shì)，在等離子體處理、化學(xué)氣相沉積、離子注入以及刻蝕等半導(dǎo)體制造環(huán)節(jié)應(yīng)用較多。
   靜電卡盤能夠固定和支撐晶圓。近年來，隨著全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)逐漸向我國(guó)大陸轉(zhuǎn)移，我國(guó)晶圓產(chǎn)能不斷擴(kuò)張，產(chǎn)量持續(xù)增長(zhǎng)。受益于下游行業(yè)發(fā)展速度加快，我國(guó)靜電卡盤市場(chǎng)空間有所擴(kuò)展。2023年我國(guó)靜電卡盤市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到近10億元。
   按照尺寸不同，靜電卡盤可分為8英寸、12英寸等規(guī)格。不同規(guī)格晶圓適配不同規(guī)格靜電卡盤。2023年我國(guó)12英寸晶圓月均產(chǎn)能達(dá)到近250萬片，創(chuàng)造歷史新高。未來伴隨我國(guó)晶圓行業(yè)逐漸往大尺寸方向發(fā)展，12英寸靜電卡盤市場(chǎng)占比有望提升。但目前，受技術(shù)壁壘高、生產(chǎn)成本高等因素限制，我國(guó)12英寸靜電卡盤尚未實(shí)現(xiàn)批量化生產(chǎn)，僅有部分企業(yè)具備其自主研發(fā)實(shí)力，這是行業(yè)發(fā)展面臨的主要挑戰(zhàn)。
   按照基材不同，靜電卡盤還可分為聚合物靜電卡盤、陶瓷靜電卡盤、金屬氧化物靜電卡盤等類型。陶瓷靜電卡盤可細(xì)分為氮化鋁陶瓷靜電卡盤、氧化鋁陶瓷靜電卡盤等，其采用納米級(jí)直徑陶瓷粉末為基材制成，具有體電阻率分布均勻、晶體結(jié)構(gòu)穩(wěn)定等優(yōu)勢(shì)，為靜電卡盤代表產(chǎn)品。未來伴隨陶瓷靜電卡盤應(yīng)用需求增長(zhǎng)，我國(guó)靜電卡盤行業(yè)景氣度將進(jìn)一步提升。
  全球靜電卡盤主要生產(chǎn)商包括美國(guó)LAM公司、美國(guó) Applied Materials公司、日本NTK公司、日本新光電氣公司等。在本土方面，我國(guó)靜電卡盤主要生產(chǎn)商包括珂瑪科技、華卓精科、海拓創(chuàng)新等。珂瑪科技推出的12英寸靜電卡盤正處于客戶驗(yàn)證階段，未來有望成為我國(guó)首家具備大尺寸靜電卡盤批量生產(chǎn)能力的企業(yè)。
   受益于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展速度加快，靜電卡盤作為晶圓制成器件，應(yīng)用需求不斷增長(zhǎng)。未來伴隨我國(guó)12英寸晶圓產(chǎn)能持續(xù)擴(kuò)張，大尺寸靜電卡盤市場(chǎng)占比有望提升。在市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)方面，與海外發(fā)達(dá)國(guó)家相比，我國(guó)靜電卡盤行業(yè)起步較晚，市場(chǎng)參與者較少。未來隨著本土企業(yè)持續(xù)發(fā)力，我國(guó)靜電卡盤行業(yè)發(fā)展態(tài)勢(shì)將持續(xù)向好。