ITO（氧化銦錫）靶材是濺射靶材中陶瓷靶材（化合物靶材）的一種，在顯示靶材中占比將近50%。
ITO靶材就是將氧化銦和氧化錫粉末按一定比例混合后經(jīng)過一系列的生產(chǎn)工藝工成型，再高溫氣氛燒結(jié)（1600度，通氧氣燒結(jié)）形成的黑灰色陶瓷半導體。ITO靶材有中低端和高端之分：中低端ITO靶材有玻璃鍍膜靶材、發(fā)熱膜和熱反射膜靶材，包括汽車的顯示屏、一些儀器儀表的顯示。高端ITO靶材主要用于顯示器薄膜靶材、集成電路薄膜靶材以及磁記錄和光記錄膜靶材，尤其用于大面積、大規(guī)格的LED、OLED等領域，具備高密度、高純度、高均勻性等特點。
全球高端ITO靶材供應商主要為日本能源、東曹和三井礦業(yè)，2019年需求約1680噸，中國需求占比49%。
目前ITO靶材制備幾乎由日、韓壟斷，代表企業(yè)有JX日礦金屬、三井礦業(yè)、東曹、韓國三星等，其中日礦和三井兩家?guī)缀跽紦?jù)了高端TFT-LCD市場用ITO靶材的全部份額和大部分的觸摸屏面板市場，每家年供應量據(jù)稱達到600噸以上。目前中國ITO靶材供應超一半左右依賴進口。
目前國內(nèi)大約有20多家ITO靶材企業(yè)，經(jīng)過多年發(fā)展，已從小量生產(chǎn)逐漸演變成規(guī)�；�生產(chǎn)。本土廠商生產(chǎn)的ITO靶材主要供應中低端市場，僅占國內(nèi)市場30%的份額；而高端TFT-LCD、觸摸屏用ITO靶材幾乎全部從日本、韓國進口，占據(jù)了70%的市場份額。
工信部發(fā)布《重點新材料首批次應用示范指導目錄（2017年版）》，提出了平板顯示用ITO靶材、平板顯示用高純鉬靶材等重點新材料的應用領域。伴隨ITO技術和產(chǎn)能突破瓶頸，國產(chǎn)ITO靶材憑借成本和性價比優(yōu)勢將逐步占領市場。