碳化硅外延設(shè)備是一種用于在碳化硅襯底上生長外延層的設(shè)備，碳化硅外延設(shè)備在制造高質(zhì)量碳化硅外延片和晶片方面具有廣泛的應(yīng)用。

在下游需求刺激下，近兩年中國碳化硅外延片生產(chǎn)商擲出了數(shù)倍的擴(kuò)產(chǎn)計(jì)劃，我國碳化硅外延設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模持續(xù)增長。2023年中國碳化硅外延設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約13.07億元。到2024年市場(chǎng)規(guī)模將增至20.87億元，2026年增至26.86億元。

按累計(jì)訂單量來看，截至2023年底，中國碳化硅外延設(shè)備市場(chǎng)主要由五家廠商占據(jù)，依序?yàn)楸狈饺A創(chuàng)(NAURA)、晶盛機(jī)電(JSG)、LPE(An ASM company)、納設(shè)智能(Naso Tech)以及中國電科第四十八研究所（CETC-48），合計(jì)占據(jù)超85%市場(chǎng)份額，其中北方華創(chuàng)、晶盛機(jī)電、納設(shè)智能處于本土領(lǐng)先地位。