半導體設備是半導體產(chǎn)業(yè)的先導、基礎(chǔ)產(chǎn)業(yè)，具有技術(shù)壁壘高、研發(fā)周期長、客戶驗證壁壘高等特點，近年來，中國半導體設備行業(yè)保持穩(wěn)定增長，市場規(guī)模持續(xù)擴大，資本加速布局，預計2024年中國半導體設備行業(yè)市場規(guī)模將達2300億元。

一、半導體設備定義

半導體設備泛指用于生產(chǎn)各類半導體產(chǎn)品所需的生產(chǎn)設備，屬于半導體行業(yè)產(chǎn)業(yè)鏈的支撐環(huán)節(jié)，主要應用于半導體制造流程中的硅片制備、晶圓制造、測試和封裝等環(huán)節(jié)，包括光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備、離子注入機、半導體芯片測試設備、分選機、探針臺等。具體如圖所示：

二、半導體設備行業(yè)發(fā)展政策

半導體設備行業(yè)對促進各個行業(yè)的升級換代具有重大意義，受到國家的高度重視，各級部門陸續(xù)出臺了多項政策，為半導體設備行業(yè)提供重點支持，鼓勵半導體設備行業(yè)的發(fā)展與創(chuàng)新。部分政策如圖所示：

三、半導體設備行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀

1.市場規(guī)模

近年來，隨著人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的快速發(fā)展，半導體設備行業(yè)迎來了新的發(fā)展機遇，市場規(guī)模持續(xù)擴大。2019-2023年期間，我國半導體設備市場規(guī)�？傮w呈增長態(tài)勢，由968.4億元增長到2190.24億元。未來，中國半導體設備行業(yè)將繼續(xù)保持穩(wěn)定增長態(tài)勢，2024年半導體設備市場規(guī)模預計達2300億元。

2.市場結(jié)構(gòu)

從細分產(chǎn)品來看，光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備為半導體設備主要核心設備，市場占比均在20%以上。其中，光刻機的市場占比為24%，刻蝕機、薄膜沉積設備市場占比均為20%。此外，測試設備和封裝設備的市場占比分別為9%、6%。

3.投融資情況

依托于政策支持及科技發(fā)展，半導體設備行業(yè)吸引了各路資本。2019-2022年，我國半導體設備行業(yè)投融資規(guī)模整體呈上升趨勢。其中，投融資事件數(shù)于2022年達到峰值，為197起；投融資金額于2020年達到峰值，為429.27億元。2023年的投融資規(guī)模有所回落，投融資事件為148起，投融資金額為141.33億元。2024年1-5月，我國投融資事件為71起，投融資金額為76.75億元。

4.分領(lǐng)域代表企業(yè)

半導體設備上游為零部件及系統(tǒng)，代表企業(yè)有華亞智能、富創(chuàng)精密、人本股份等。

產(chǎn)業(yè)鏈中游為各類半導體設備，主要包括光刻機、刻蝕設備、薄膜沉積設備等，代表企業(yè)有北方華創(chuàng)、長川科技、中微公司等。

半導體設備下游應用于半導體制造，代表企業(yè)有富樂德、聯(lián)動科技、金海通等。

四、半導體設備行業(yè)重點企業(yè)

1.北方華創(chuàng)

北方華創(chuàng)科技集團股份有限公司主要從事半導體基礎(chǔ)產(chǎn)品的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售和技術(shù)服務。主要產(chǎn)品為電子工藝裝備和電子元器件。北方華創(chuàng)是國內(nèi)設備廠商龍頭企業(yè)，主營氧化擴散設備、刻蝕設備（干法刻蝕）、薄膜沉積工藝CVD和PVD、清洗設備等，幾乎涵蓋了半導體設備全領(lǐng)域。

2024年一季度，北方華創(chuàng)實現(xiàn)營收58.59億元，同比增長51.36%；實現(xiàn)歸母凈利潤38.71億元，同比增長90.40%。2023年主營產(chǎn)品包括電子工藝裝備、電子元器件，占比分別為88.82%、11.02%。

2.至純科技

上海至純潔凈系統(tǒng)科技股份有限公司主要從事半導體制程設備、系統(tǒng)集成及支持設備的研發(fā)和生產(chǎn)銷售，以及由此衍生的部件材料及專業(yè)服務。主要產(chǎn)品有特色工藝單片設備、濕法制絨設備、爐管設備、氣體閥門分配箱、化學品柜研磨液供應設備、單瓶氣壓式LDS、部件清洗及晶圓再生服務等。

2024年一季度，至純科技實現(xiàn)營業(yè)收入8.11億元，同比增長3.48%，歸母凈利潤0.64億元，同比增長1.45%。2023年主營產(chǎn)品包括系統(tǒng)集成及材料、設備業(yè)務，占比分別為75.54%、24.27%。

3.中微公司

中微半導體設備股份有限公司的主營業(yè)務是半導體設備及泛半導體設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。中微公司的主要產(chǎn)品有電容性等離子體刻蝕設備，電感性等離子體刻蝕設備，MOCVD設備，VOC設備。

2024年一季度，中微公司實現(xiàn)營收16.05億元，同比增長31.23%；實現(xiàn)歸母凈利潤2.49億元，同比下降9.53%。2023年主營產(chǎn)品包括專用設備、備品備件，占比分別為82.47%、15.50%。

4.盛美上海

盛美半導體設備股份有限公司主要從事高端半導體設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。主要產(chǎn)品為半導體清洗設備、半導體電鍍設備和先進封裝濕法設備等。

2024年第一季度，公司實現(xiàn)營業(yè)總收入9.21億元，同比增長49.63%；歸母凈利潤8018.34萬元，同比下降38.76%。2023年主營產(chǎn)品包括半導體清洗設備、先進封裝濕法設備、其他半導體設備，占比分別為67.23%、4.12%、24.18%。

5.長川科技

杭州長川科技股份有限公司主要從事集成電路專用測試設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，是一家致力于提升我國集成電路專用測試技術(shù)水平、積極推動集成電路裝備業(yè)升級的國家高新技術(shù)企業(yè)和軟件企業(yè)。長川科技主要產(chǎn)品包括集成電路測試機、分選機。

2024年一季度，長川科技實現(xiàn)營收5.59億元，同比增長74.81%；實現(xiàn)歸母凈利潤為0.04億元，同比增長107.12%。2023年主營產(chǎn)品包括測試機、分選機，占比分別為38.08%、46.18%。

五、半導體設備行業(yè)的發(fā)展前景

1.國家政策大力支持設備國產(chǎn)化提升

半導體行業(yè)是現(xiàn)代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)和核心，事關(guān)國民經(jīng)濟和社會發(fā)展。目前我國半導體設備發(fā)展已經(jīng)迎來了重大的窗口期和機遇期，多級政府出臺相關(guān)政策為半導體設備行業(yè)保駕護航�！吨圃鞓I(yè)可靠性提升實施意見》《“十四五”數(shù)字經(jīng)濟發(fā)展規(guī)劃》《中華人民共和國國民經(jīng)濟和社會發(fā)展第十四個五年規(guī)劃和2035年遠景目標綱要》等政策的落實為我國半導體設備行業(yè)發(fā)展提供良好的營商環(huán)境。

2.半導體產(chǎn)業(yè)重心轉(zhuǎn)移為本土設備廠商提供巨大機遇

物聯(lián)網(wǎng)、5G通信、汽車電子等新型應用市場的不斷發(fā)展產(chǎn)生了巨大的半導體產(chǎn)品需求，推動半導體行業(yè)進入新一輪的發(fā)展周期。全球范圍內(nèi)，晶圓廠產(chǎn)能擴充仍在繼續(xù)，下游需求的不斷發(fā)展為半導體設備制造產(chǎn)業(yè)的擴張和升級提供了機遇。

3.市場需求增加促進行業(yè)發(fā)展

憑借巨大的市場容量以及多年的發(fā)展，廣闊的下游市場和不斷完善的上下游產(chǎn)業(yè)鏈帶動全球產(chǎn)能重心逐步向中國大陸轉(zhuǎn)移，中國已然成為全球最大的半導體消費國和生產(chǎn)國。預計半導體產(chǎn)業(yè)規(guī)模的不斷擴大將為國內(nèi)設備廠商帶來巨大發(fā)展機遇，國產(chǎn)設備將加速導入大陸晶圓廠，因此國產(chǎn)半導體設備有望迎來快速發(fā)展期。