電子特氣是指當氣體中的電子濃度非常高時,電子的自由程比氣體分子的自由程要短,導致氣體分子與電子之間的相互作用顯著增強,進而使氣體分子電離并形成的一種高度電離的等離子體。電子特氣具有高純度、穩(wěn)定性、多樣性的特點,在電子工業(yè)中具有廣泛的應用。
一、電子特氣行業(yè)發(fā)展現(xiàn)狀
1、全球電子特氣市場規(guī)模
近年來,全球電子特氣市場規(guī)模持續(xù)增長。
2023年全球電子特氣市場規(guī)模56億美元, 2024年全球電子特氣市場規(guī)模將達60億美元。
2、中國電子特氣市場規(guī)模
中國電子特氣市場規(guī)模同樣呈現(xiàn)出穩(wěn)步增長的趨勢。2023年中國電子特氣市場規(guī)模249億元,隨著集成電路和顯示面板等半導體產業(yè)的快速發(fā)展,電子特氣的需求將持續(xù)增長,2024年中國電子特氣市場規(guī)模將達262.5億元。
3、電子特氣國產化率
國內企業(yè)所能批量生產的特種氣體仍主要集中在集成電路的清洗、蝕刻、光刻等工藝環(huán)節(jié),對摻雜、沉積等工藝的特種氣體僅有少部分品種取得突破,自主供應能力不足。
我國電子特氣國產化率較低,2020年電子特氣國產化率僅14%,例如集成電路生產用的電子特氣,我國僅能生產約20%的品種,所占國內市場份額僅為12%。預計2025年我國電子特氣國產化率有望提升至25%。
4、電子特氣下游應用
電子特種氣體主要用于集成電路、顯示面板、LED、光伏等領域。其中,集成電路占比最多,達43%。其次分別為顯示面板、LED、光伏,占比分別為21%、13%、6%。
二、電子特氣行業(yè)發(fā)展前景
1、電子特氣市場需求大
電子特氣是半導體制造的關鍵原材料,主要應用于光刻、刻蝕、成膜、清洗、摻雜、沉積等工藝環(huán)節(jié)。隨著半導體產業(yè)的快速發(fā)展,尤其是集成電路和顯示面板等高科技產品對高品質、高純度電子特氣的需求日益增大,電子特氣市場需求呈現(xiàn)快速增長態(tài)勢。此外,隨著LED、光伏等產業(yè)的快速發(fā)展,這些領域對電子特氣的需求也在不斷增加。
2、國產化率提升
目前,我國電子特氣的國產化率整體仍然較低。由于國內電子特氣行業(yè)起步較晚,技術積累相對薄弱,同時面臨著國際巨頭的市場壟斷和技術封鎖,導致國內企業(yè)在電子特氣領域的市場份額較小。但近年來,隨著國內企業(yè)技術水平的提升和自主創(chuàng)新能力的增強,國產化率逐步提升。未來,國內企業(yè)將繼續(xù)加大技術研發(fā)和創(chuàng)新投入,提高產品質量和性能,進一步提升國產化率。
3、技術創(chuàng)新驅動行業(yè)發(fā)展
隨著科技的進步,半導體制造工藝不斷升級,對電子特氣的質量和性能要求也越來越高。這倒逼電子特氣技術的不斷創(chuàng)新和升級。技術創(chuàng)新能夠提升電子特氣的純度、穩(wěn)定性和一致性,從而滿足高端制造業(yè)對高品質電子特氣的需求。同時技術創(chuàng)新可以優(yōu)化生產工藝,提高生產效率,降低原材料和能源消耗,從而降低生產成本。此外,技術創(chuàng)新能夠推動電子特氣在更多領域的應用,如新能源、生物醫(yī)藥等新興產業(yè),為電子特氣行業(yè)帶來新的增長點。