汽車性能的不斷提升得益于汽車電子的不斷發(fā)展，而起核心作用的元件是傳感器。MEMS壓力傳感器廣泛應(yīng)用于汽車電子中，如TPMS壓力傳感器、進氣歧管壓力傳感器、大氣壓力傳感器、發(fā)動機機油壓力傳感器、安全氣囊用壓力傳感器等。MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機械電子傳感器。

近年來，MEMS技術(shù)的發(fā)展為設(shè)計汽車傳感器提供了新的重要途徑。一些研究人員針對上述傳統(tǒng)機油壓力傳感器存在的問題，提出一種新型基于MEMS技術(shù)的壓力傳感器，對壓力敏感頭的結(jié)構(gòu)進行了設(shè)計，開發(fā)出精度高、性能可靠的傳感器。壓力敏感頭是機油壓力傳感器的核心部件，是由MEMS壓力敏感芯片、波紋膜片、陶瓷底座、TO底座、充油腔體及硅油等組成。在壓力敏感頭上裝上信號調(diào)理電路，并裝配在一個金屬外殼中，即可構(gòu)成機油壓力傳感器。

統(tǒng)計數(shù)據(jù)顯示，2018年華北地區(qū)MEMS壓力傳感器市場規(guī)模17.55億元，2021年華北地區(qū)MEMS壓力傳感器市場規(guī)模22.02億元。

圖表     2018-2022年3季度華北地區(qū)MEMS壓力傳感器市場規(guī)模