半導(dǎo)體設(shè)備是集成電路產(chǎn)業(yè)鏈自主可控的核心環(huán)節(jié)，行業(yè)進入壁壘高，國際競爭激烈。近年來，中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)保持穩(wěn)定增長，市場規(guī)模持續(xù)擴大，資本加速布局。據(jù)不完全統(tǒng)計，中國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)上市公司達18家。

一、半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)上市公司整體情況

半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈上游為零部件及系統(tǒng)，零部件主要分為軸承、傳感器、反應(yīng)腔噴淋頭等；核心子系統(tǒng)包括氣液流量控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng)等。半導(dǎo)體設(shè)備上游代表上市企業(yè)有華亞智能、富創(chuàng)精密。

產(chǎn)業(yè)鏈中游主要包括光刻機、刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備等各類半導(dǎo)體設(shè)備，代表上市企業(yè)有北方華創(chuàng)、長川科技、至純科技、中微公司等。

半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)鏈下游為半導(dǎo)體制造，包括富樂德、聯(lián)動科技、金海通等上市企業(yè)。

二、半導(dǎo)體設(shè)備上市企業(yè)分布情況

全國半導(dǎo)體設(shè)備上市公司18家，主要分布在遼寧省、北京市、上海市、江蘇省等地區(qū)。其中，遼寧省、北京市、上海市均為3家，天津市、江蘇省、安徽省、廣東省均為2家，浙江省為1家。

三、上市公司經(jīng)營情況對比分析

2023年，18家半導(dǎo)體設(shè)備上市公司營業(yè)收入合計507.20億元，歸母凈利潤為97.45億元。其中，一半上市公司的營業(yè)收入超十億元，分別為北方華創(chuàng)、中微公司、盛美上海、至純科技、拓荊科技、華海清科、富創(chuàng)精密、長川科技、芯源微。

四、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)重點上市公司業(yè)務(wù)布局

當(dāng)前，半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模持續(xù)擴大，企業(yè)積極提升智能制造水平，加快半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的產(chǎn)業(yè)鏈布局。

五、半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)重點上市公司業(yè)務(wù)規(guī)劃情況

依托于半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)替代的迫切需要及國家政策的推動，我國半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展迅速。上市企業(yè)主要在半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)研發(fā)、產(chǎn)業(yè)配套、供應(yīng)鏈建設(shè)、市場拓展等方面規(guī)劃布局，以適應(yīng)社會形勢的變化，滿足高質(zhì)量發(fā)展的要求。