碳化硅外延片，是指在碳化硅襯底上生長了一層有一定要求的、與襯底晶相同的單晶薄膜（外延層）的碳化硅片。中國碳化硅外延片產(chǎn)業(yè)自2022年進(jìn)入快速成長期， 2023年中國碳化硅外延片整體市場規(guī)模已達(dá)到約16.24億元。至2026年中國碳化硅外延片市場規(guī)模有望上升至107億元。

碳化硅外延設(shè)備是一種用于在碳化硅襯底上生長外延層的設(shè)備，碳化硅外延設(shè)備在制造高質(zhì)量碳化硅外延片和晶片方面具有廣泛的應(yīng)用。在下游需求刺激下，近兩年中國碳化硅外延片生產(chǎn)商擲出了數(shù)倍的擴(kuò)產(chǎn)計劃，我國碳化硅外延設(shè)備市場規(guī)模持續(xù)增長。2023年中國碳化硅外延設(shè)備市場規(guī)模約13.07億元。到2024年市場規(guī)模將增至20.87億元，2026年增至26.86億元。